Característiques del producte
Admet múltiples versions (PLC/PC) i diversos protocols de comunicació convencionals;
Disseny i producció realitzats d'acord amb l'estàndard de producció de seguretat SEMI;
Alta capacitat de disseny del canal, UPH400 ~ 550pcs;
Apte per a múltiples dimensions de producte i revistes;
Disseny patentat a nivell d'hòsties MFC, que evita que les fuites de gas causin accidents de seguretat (admet gasos d'alt-risc com l'hidrogen);
Disseny patentat d'alta cambra de segellat, fins a 5pa;
Angle de contacte amb l'aigua<10° (related to the material of product surface);
Disseny de quatre canals per al processament simultani de 4 productes, amb elèctrodes de doble fons, reduint el temps d'entrada i sortida de la placa, millorant significativament l'eficiència i garantint la uniformitat del producte en el processament.
especificacions tècniques
|
Configuració funcional |
Paràmetres tècnics |
|
|
L×W×H (mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Equipament |
Pes net (kg) |
1000 |
|
Espai lliure perifèric (mm) |
600 al darrere, 600 als dos costats |
|
|
Cambra |
Volum (L) |
Uns 9 |
|
Canal (núms.) |
4 |
|
|
Elèctrode inferior (pcs.) |
2 (funció de transició) |
|
|
Mode d'alimentació |
Revista |
|
|
Mida adaptativa del producte (mm) |
Amplada: 40-100 Longitud: 150-300 |
|
|
Elèctrode |
Mida de l'elèctrode (mm) |
528×300 |
|
Font d'alimentació de RF |
Potència estàndard (kW) |
1 |
|
Freqüència (MHZ) |
13.56 |
|
|
Control de gas |
Fins a tres canals |
2 canals (estàndard), 3 canals (opcional) |
|
Sistema de control |
Interfície humà-màquina |
PC + pantalla tàctil |
|
Interfície remota |
Comunicació |
Opcional |
|
Bomba de buit |
Bomba seca opcional |
17 CFM |
|
Bomba d'oli opcional |
195 CFM |
|
|
Bomba seca opcional amb funció de purga |
SÍ |
|
|
Flux de purga de nitrogen (SLM) |
2 |
|
|
Temps d'aspiració (S) |
10月15日 |
|
|
Temps de trencament al buit (S) |
3-4 |
|
|
Instal·lacions de fàbrica |
Font d'alimentació |
Trifàs-380V50/60Hz 4,5kW (bomba d'oli) |
|
Dimensió i tipus de procés |
Swagelok d'1/4 de polzada |
|
|
Puresa del gas de procés |
Grau industrial i superior |
|
|
Pressió del gas de procés (psig) |
10-20 |
|
|
Dimensió i tipus de gasoducte de purga |
Swagelok d'1/4 de polzada |
|
|
Puresa del gas de purga |
Grau industrial i superior |
|
|
Pressió del gas de purga (psig) |
15 |
|
|
Dimensió i tipus de pneumàtic |
Encaix-de 10 mm |
|
|
Puresa del gas pneumàtic |
Aire comprimit, lliure d'oli-, punt de rosada Menor o igual a 7 graus, partícules<5 |
|
|
Pressió del gas pneumàtic (psig) |
70-90 |
|
|
Aire comprimit (mm) |
∅8 |
|
|
Compliment |
Certificació |
SEMI |
|
Equips auxiliars |
Generador de nitrogen (opcional) |
Opcional per a la purga de nitrogen |
|
Refrigerador d'aigua (opcional) |
Opcional per a la refrigeració dels elèctrodes |
|
|
Kit d'hidrogen (opcional) |
Opcional per al tractament d'hidrogen |
|
|
Processador de gas d'escapament (opcional) |
Opcional per al tractament d'escapament amb fluor |
|
|
Transport |
Pes total (kg) |
1050 |
|
Nombre de paquets |
1 |
|
|
Embalatge d'acord amb l'estàndard SPM15 |
SÍ |
|
Etiquetes populars: Sistema automàtic de tractament amb plasma al buit VP-10S, sistema automàtic de tractament amb plasma al buit VP-10S